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采用中频感应加热的扩散炉  
 【申请号】  CN201320412106.3  【申请日】  2013-07-11
 【公开号】  CN203367244U  【公开日】  2013-12-25
 【申请人】  上海大学  【地址】  200444 上海市宝山区上大路99号
 【共同申请人】  
 【发明人】  杜鹏程;陆利新;谢亚胜;丁飞
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  上海上大专利事务所(普通合伙) 31205  【代理人】  何文欣
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  31
 【摘要】  本实用新型公开了一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管、加热控制器和热电偶,在扩散炉管外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管,在耐高温不锈钢管外围再紧密地套上绝缘隔热筒,在绝缘隔热筒外部绕有加热感应线圈,加热感应线圈在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,耐高温不锈钢管的管壁内部产生涡流并感应生成热能,从而实现对扩散炉的加热,中频电源控制柜通过接收一系列热电偶的反馈信号,调节加热感应线圈中的电流以改变磁场,进而改变耐高温不锈钢管发热状态,从而实现对扩散炉管内温度的控制。本实用新型采用中频感应加热,升温速度很快,节约预热时间,发热效率高,节能,节电,环保,装备使用寿命长。
 【主权项】  一种采用中频感应加热的扩散炉,包括扩散炉管(3)、加热控制器和热电偶(5),其特征在于:在所述扩散炉管(3)外围紧密地套上一层耐高温不锈钢管(2),在所述耐高温不锈钢管(2)外围再紧密地套上绝缘隔热筒(1),在所述绝缘隔热筒(1)外部绕有加热感应线圈(4),所述加热感应线圈(4)在中频感应电源的作用下产生高速变化的磁场,在高速变化的磁场作用下,所述耐高温不锈钢管(2)的管壁内部产生涡流并感应生成热能,热能再传导于所述扩散炉管(3)上,从而实现对扩散炉的加热,所述加热感应线圈(4)和在所述扩散炉管(3)内设置的一系列所述热电偶(5)通过总线连接到中频电源控制柜(6)上,所述中频电源控制柜(6)通过接收一系列热电偶(5)的反馈信号,调节所述加热感应线圈(4)中的电流以改变磁场,进而改变所述耐高温不锈钢管(2)的发热状态,从而实现对所述扩散炉管(3)内温度的控制。
 【页数】  6
 【主分类号】  H01L21/67
 【专利分类号】  H01L21/67;F27D11/06;F27D19/00
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