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金属氧化物膜的制造方法及金属氧化物膜、使用该金属氧化物膜的元件、带有金属氧化物膜的基板以及使用该基板的器件  
 【申请号】  CN201180028065.1  【申请日】  2011-06-08
 【公开号】  CN102933496A  【公开日】  2013-02-13
 【申请人】  住友金属矿山株式会社  【地址】  日本东京都
 【共同申请人】  
 【发明人】  行延雅也;村山勇树;永野崇仁;大塚良广
 【国际申请】  2011-06-08 PCT/JP2011/063627  【国际公布】  2011-12-15 WO2011/155635 JA
 【进入国家日期】  2013-02-13
 【专利代理机构】  中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038  【代理人】  王永红
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  JP
 【摘要】  本发明提供采用属于金属氧化物膜的制造方法的涂布法形成的、兼有优良的透明性和高的导电性、且膜强度优良的金属氧化物膜、以及该金属氧化物膜的制造方法。该金属氧化物膜的制造方法为经由使用一种含有各种有机金属化合物的金属氧化物膜形成用涂布液在基板上形成涂布膜的涂布工序、将该涂布膜转变成干燥涂布膜的干燥工序以及由该干燥涂布膜形成无机膜的加热处理工序来形成金属氧化物膜的方法,其特征在于,该加热处理工序是对以各种有机金属化合物为主成分的干燥涂布膜进行加热处理,所述加热处理是在露点温度-10℃以下的含氧气氛中升温到至少能引起有机金属化合物成分发生无机化的温度以上,通过采用热分解或燃烧、或者热分解加燃烧来除去干燥涂布膜中的有机成分以形成致密地填充有以各种金属氧化物为主成分的金属氧化物微粒的金属氧化物微粒层。
 【主权项】  金属氧化物膜的制造方法,所述金属氧化物膜是经以下各个工序而形成的:将含有有机金属化合物作为主成分的金属氧化物膜形成用涂布液涂布到基板上以形成涂布膜的涂布工序、将上述涂布膜干燥以形成干燥涂布膜的干燥工序、将上述干燥涂布膜无机化而形成以属于金属氧化物的无机成分作为主成分的无机膜的加热处理工序,其特征在于,上述加热处理工序是对上述干燥工序中形成的以有机金属化合物为主成分的上述干燥涂布膜进行加热处理,所述加热处理是在露点温度?10℃以下的含氧气氛中升温到至少能引起上述有机金属化合物成分发生无机化的温度以上,通过采用热分解或者燃烧、或者热分解加燃烧来除去上述干燥涂布膜中所含的有机成分以形成致密地填充有金属氧化物为主成分的金属氧化物微粒的金属氧化物微粒层的工序;上述有机金属化合物包含有机铝化合物、有机硅化合物、有机钪化合物、有机钛化合物、有机钒化合物、有机铬化合物、有机锰化合物、有机铁化合物、有机钴化合物、有机镍化合物、有机铜化合物、有机镓化合物、有机锗化合物、有机钇化合物、有机锆化合物、有机铌化合物、有机钼化合物、有机钌化合物、有机锑化合物、有机镧化合物、有机铪化合物、有机钽化合物、有机钨化合物、有机铋化合物、有机铈化合物、有机钕化合物、有机钐化合物、有机钆化合物、有机镁化合物、有机钙化合物、有机锶化合物、有机钡化合物中的任一种以上,上述金属氧化物为氧化铝、氧化硅、氧化钪、氧化钛、氧化钒、氧化铬、氧化锰、氧化铁、氧化钴、氧化镍、氧化铜、氧化镓、氧化锗、氧化钇、氧化锆、氧化铌、氧化钼、氧化钌、氧化锑、氧化镧、氧化铪、氧化钽、氧化钨、氧化铋、氧化铈、氧化钕、氧化钐、氧化钆、氧化镁、氧化钙、氧化锶、氧化钡中的任一种以上。
 【页数】  50
 【主分类号】  C01G27/02
 【专利分类号】  C01G27/02;C01F7/02;C01F17/00;C01G23/04;C01G25/02;C03C17/25;C03C17/27;H01B5/14;H01B13/00;C01B13/32
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