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一种多脉冲激光诱导击穿光谱在线检测系统  
 【申请号】  CN201310191353.X  【申请日】  2013-05-22
 【公开号】  CN104181146A  【公开日】  2014-12-03
 【申请人】  中国科学院光电研究院  【地址】  100094 北京市海淀区邓庄南路9号
 【共同申请人】  
 【发明人】  刘洋;余锦;樊仲维;貊泽强;聂树真
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280  【代理人】  王勇;王博
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  11
 【摘要】  本发明提供了一种多脉冲激光诱导击穿光谱在线检测系统,包括脉冲激光器、光程延长回路装置、第二光路导引装置、光路汇合装置和数据检测系统,光程延长回路装置包括光路分光装置、脉冲延时装置和第一光路导引装置,光路分光装置用于将脉冲激光分成第一脉冲激光和第二脉冲激光,脉冲延时装置用于增加第二脉冲激光的光程,第一光路导引装置用于改变增加光程的第二脉冲激光的光路,第二光路导引装置用于改变第一脉冲激光的光路,光路汇合装置用于将第一脉冲激光和增加光程的第二脉冲激光汇合到一个相同的特定光路中。本发明采用一个脉冲激光器产生多个不同光程的脉冲激光,并使得多个脉冲激光聚焦在待测样品上相同位置。
 【主权项】  一种多脉冲激光诱导击穿光谱在线检测系统,其特征在于,包括:脉冲激光器(1),用于产生脉冲激光;光程延长回路装置(2),所述光程延长回路装置(2)包括光路分光装置(5)、脉冲延时装置(8)和第一光路导引装置(6),所述光路分光装置(5)用于将所述脉冲激光分成第一脉冲激光和第二脉冲激光,所述脉冲延时装置(8)用于增加所述第二脉冲激光的光程,所述第一光路导引装置(6)用于改变所述增加光程的第二脉冲激光的光路;第二光路导引装置(3),用于改变所述第一脉冲激光的光路;光路汇合装置(11),用于将所述第一脉冲激光和所述增加光程的第二脉冲激光汇合到一个相同的特定光路中;数据检测系统(4),所述数据检测系统(4)包括聚焦镜(13)、光谱仪(16)和计算机(17),所述聚焦镜(13)用于将在所述特定光路中的第一脉冲激光和第二脉冲激光聚焦在同一位置,并通过所述光谱仪(16)和计算机(17)分析处理得到检测数据。
 【页数】  13
 【主分类号】  G01N21/71
 【专利分类号】  G01N21/71
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