用户名: 密码:    忘记密码   注册   在线充值
薄膜厚度异常的检测方法与检测系统  
 【申请号】  CN201610345671.0  【申请日】  2016-05-23
 【公开号】  CN106023412A  【公开日】  2016-10-12
 【申请人】  威海华菱光电股份有限公司  【地址】  264209 山东省威海市火炬高技术产业开发区火炬路159号
 【共同申请人】  
 【发明人】  戚务昌;林永辉;韩晓伟
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  北京康信知识产权代理有限责任公司 11240  【代理人】  赵囡囡;吴贵明
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  37
 【摘要】  本申请提供了一种薄膜厚度异常的检测方法与检测系统。该检测方法包括:步骤S1,获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压,或者获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压对应的M行N列的数字信号,其中,M≥1,N≥2;步骤S2,对至少一行中的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差,和/或对不同行不同列的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差,得到至少一个差值;步骤S3,将各差值的绝对值与标准值进行比较,当至少一个差值的绝对值大于标准值时,薄膜的厚度存在异常。该方法不仅可以将与检测点列方向平行的厚度异常检测出来,并且,还可以将其他方向的厚度异常检测出来。
 【主权项】  一种薄膜厚度异常的检测方法,其特征在于,所述检测方法包括:步骤S1,获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压,或者获取薄膜的M行N列的检测点的检测电压对应的M行N列的数字信号,其中,M≥1,N≥2;步骤S2,对至少一行中的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差,和/或对不同行不同列的至少两个检测点对应的检测电压或者数字信号作差,得到至少一个差值;以及步骤S3,将各所述差值的绝对值与标准值进行比较,当至少一个所述差值的绝对值大于所述标准值时,所述薄膜的厚度存在异常。
 【页数】  13
 【主分类号】  G07D7/16
 【专利分类号】  G07D7/16
   推荐下载阅读CAJ格式全文 查询法律状态
(不支持迅雷等加速下载工具,请取消加速工具后下载。)

 


专利产出状态分析  
本领域科技成果与标准  
发明人发表文献
申请机构(个人)发表文献
本专利研制背景
本专利应用动态
所涉核心技术研究动态
京 ICP 证 040431 号 网络出版服务许可证 (总)网出证(京)字第 271 号经营性网站备案信息 京公网安备 11010802020460 号
© 2010-2017 中国知网(CNKI) 《中国学术期刊(光盘版)》电子杂志社有限公司 KDN 平台基础技术由 KBASE 11.0 提供
服务热线:400-810-9888 订卡热线:800-810-6613
在线咨询:http://help.cnki.net 客服中心:http://service.cnki.net 电子邮件:help@cnki.net
可信网站 诚信网站