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靶材热处理方法  
 【申请号】  CN201510409485.4  【申请日】  2015-07-13
 【公开号】  CN106702120A  【公开日】  2017-05-24
 【申请人】  宁波江丰电子材料股份有限公司  【地址】  315400 浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号
 【共同申请人】  
 【发明人】  姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;廖培君
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  北京集佳知识产权代理有限公司 11227  【代理人】  吴敏
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  33
 【摘要】  一种靶材热处理方法,包括:提供靶材,所述靶材待达到预定工艺温度;提供砂子,预热所述砂子到初始温度,所述初始温度比所述预定工艺温度至少低100摄氏度;将所述靶材埋入具有初始温度的砂子中;升温埋有靶材的所述砂子到预定工艺温度,对所述靶材进行热处理。采用所述靶材热处理方法提高了热处理后靶材的性能。
 【主权项】  一种靶材热处理方法,其特征在于,包括:提供靶材,所述靶材待达到预定工艺温度;提供砂子,预热所述砂子到初始温度,所述初始温度比所述预定工艺温度至少低100摄氏度;将所述靶材埋入具有初始温度的砂子中;升温埋有靶材的所述砂子到预定工艺温度,对所述靶材进行热处理。
 【页数】  14
 【主分类号】  C21D9/00
 【专利分类号】  C21D9/00;C21D1/70;C23C14/34
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