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氧化物烧结材料、氧化物烧结材料的制造方法、溅射靶和半导体装置的制造方法  
 【申请号】  CN201680003741.2  【申请日】  2016-05-06
 【公开号】  CN107001146B  【公开日】  2020-03-03
 【申请人】  住友电气工业株式会社  【地址】  日本大阪府大阪市
 【共同申请人】  
 【发明人】  宫永美纪;绵谷研一;粟田英章
 【国际申请】  2016-05-06 PCT/JP2016/063646  【国际公布】  2017-03-23 WO2017/047152 JA
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  中原信达知识产权代理有限责任公司  【代理人】  王海川;穆德骏
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  JP
 【摘要】  本发明提供一种包含铟、钨和锌的氧化物烧结材料,所述氧化物烧结材料包含:第一晶相,所述第一晶相为所述氧化物烧结材料的主要成分并包含方铁锰矿型晶相;和第二晶相,所述第二晶相的锌的含量比所述第一晶相的锌的含量高,所述第二晶相包含平均长轴尺寸为3μm以上且50μm以下并且平均长径比为4以上且50以下的粒子。
 【主权项】  1.一种包含铟、钨和锌的氧化物烧结材料,所述氧化物烧结材料包含:第一晶相,所述第一晶相为所述氧化物烧结材料的主要成分并包含方铁锰矿型晶相;和第二晶相,所述第二晶相的锌的含量比所述第一晶相的锌的含量高,所述第二晶相包含平均长轴尺寸为3μm以上且50μm以下并且平均长径比为4以上且50以下的粒子,且所述氧化物烧结材料中的锌对钨的原子比为3.8以上且小于100。
 【页数】  39
 【主分类号】  C04B35/00
 【专利分类号】  C04B35/00;C23C14/08;C23C14/34;H01L21/363;H01L29/786
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