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有机锡氧化物氢氧化物图案化组合物、前驱物及图案化  
 【申请号】  CN201680060193.7  【申请日】  2016-10-12
 【公开号】  CN108351594A  【公开日】  2018-07-31
 【申请人】  因普里亚公司  【地址】  美国俄勒冈州
 【共同申请人】  
 【发明人】  S·T·迈耶斯;J·T·安德森;B·J·卡迪诺;J·B·埃德森;K·蒋;D·A·凯斯勒;A·J·特莱茨基
 【国际申请】  2016-10-12 PCT/US2016/056637  【国际公布】  2017-04-20 WO2017/066319 EN
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205  【代理人】  黄琳娟
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  US
 【摘要】  本发明描述了用于形成基于金属氧化物氢氧化物化学的高分辨率微影图案化涂层的有机金属前驱物。该前驱物组合物通常包含在适当条件下可易于被水蒸气或其他OH源组合物水解的配位体。该有机金属前驱物通常包含对锡的辐射敏感的有机配位体,其可产生在相对较低辐射剂量下对高分辨率图案化有效,且特别适用于EUV图案化的涂层。该前驱物组合物在商业适合条件下易于处理。可利用原位水解或基于蒸气的沉积的溶液的相处理来形成涂层。
 【主权项】  1.一种涂层溶液,其包含:有机溶剂;由下式表示的第一有机金属组合物:式RzSnO(2#(z/2)#(x/2))(OH)x,其中0
 【页数】  36
 【主分类号】  G03F7/16
 【专利分类号】  G03F7/16;G03F1/22;G03F7/031;G03F7/00
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