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一种可旋转的超临界电沉积装置  
 【申请号】  CN201810402016.3  【申请日】  2018-04-28
 【公开号】  CN108707956A  【公开日】  2018-10-26
 【申请人】  江苏理工学院  【地址】  213001 江苏省常州市中吴大道1801号
 【共同申请人】  
 【发明人】  雷卫宁;王剑桥;邓瑶;李小平;张扬;侯文达;王康
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231  【代理人】  刘娟娟
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  32
 【摘要】  本发明属于电化学加工技术领域,尤其涉及一种可旋转的超临界电沉积装置,包括反应釜组件和基座组件,反应釜组件包括具有内腔的反应釜本体、活塞和第一驱动系统,活塞设置在内腔中,且其与内腔之间形成沉积腔,第一驱动系统用于驱动活塞运动控制沉积腔的大小,基座组件包括底座、转动设置在底座上的旋转盘和用于驱动旋转盘转动的第二驱动系统,旋转盘上设置有釜壁夹具,釜壁夹具用于夹持反应釜本体。有益效果:本发明的旋转盘带动反应釜组件转动,保证电沉积过程中沉积腔内镀液的均匀流动,有利于阴极附近的离子得到迅速补充,减轻浓差极化现象带来的影响,提高沉积层的致密性和平整性,为提升沉积层的表面质量和力学性能提供了一种新方法。
 【主权项】  1.一种可旋转的超临界电沉积装置,其特征在于:包括反应釜组件(1)和基座组件(2),所述反应釜组件(1)包括具有内腔(111)的反应釜本体(11)、活塞(12)和第一驱动系统,所述活塞(12)设置在内腔(111)中,且其与内腔(111)之间形成沉积腔(112),所述第一驱动系统用于驱动活塞(12)运动控制沉积腔(112)的大小,所述基座组件(2)包括底座(21)、转动设置在底座(21)上的旋转盘(22)和用于驱动旋转盘(22)转动的第二驱动系统,所述旋转盘(22)上设置有釜壁夹具(23),所述釜壁夹具(23)用于夹持反应釜本体(11)。
 【页数】  9
 【主分类号】  C25D17/02
 【专利分类号】  C25D17/02;C25D17/04;C25D17/06;C25D17/12;C25D21/10;C25D5/00
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