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使用声能处理基板的系统、设备和方法  
 【申请号】  CN201811030650.5  【申请日】  2014-02-03
 【公开号】  CN109201440A  【公开日】  2019-01-15
 【申请人】  北方华创艾可隆公司  【地址】  美国宾夕法尼亚州
 【共同申请人】  
 【发明人】  约翰·A·考伯勒
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  北京京万通知识产权代理有限公司  【代理人】  许天易
 【分案原申请号】  201480008441.4 2014.02.03
 【国省代码】  US
 【摘要】  本发明涉及一种使用声能处理基板的系统、设备和方法。在一个方面,本发明可以是处理扁平制品的系统,包括:支架,其支撑扁平制品;分配器,其将液体施加到扁平制品的第一表面;换能器组件,其包括:具有纵向轴线的传输结构;第一组换能器在纵向轴线的第一侧以间隔开的方式声学地联接到传输结构;第二组换能器在纵向轴线的第二侧以间隔开的方式声学地联接到传输结构;第一组和第二组换能器沿纵向轴线交错;并且,其中当分配器将液体施加到扁平制品的第一表面时,在传输结构和扁平制品的第一表面之间形成液体薄膜。
 【主权项】  1.一种处理扁平制品的系统,包括:支架,其用于支撑扁平制品;分配器,其用于将液体施加到所述支架上的所述扁平制品的第一表面;换能器组件,包括:传输结构,其包括第一弯曲表面和第二表面,所述第二表面与所述第一弯曲表面相对;第二表面包括第一平面部分和第二平面部分,所述第一平面部分和第二平面部分相对于彼此以非零角度布置;第一换能器,其用于产生声能,所述第一换能器声学联接到所述第一平面部分;和第二换能器,其用于产生声能,所述第二换能器声学联接到所述第二平面部分;所述换能器组件设置成使得当所述分配器将液体施加到所述支架上的所述扁平制品的所述第一表面时,在所述传输结构的所述第一弯曲表面和所述扁平制品的所述第一表面之间形成液体薄膜。
 【页数】  38
 【主分类号】  B06B1/06
 【专利分类号】  B06B1/06;B06B3/00;B08B3/12;H01L21/67
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