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金属氧化物的制法、形成用该金属氧化物的金属氧化物薄膜用靶子材料及其制法、以及金属氧化物薄膜的制法  
 【申请号】  CN99805350.3  【申请日】  1999-04-16
 【公开号】  CN1298368  【公开日】  2001-06-06
 【申请人】  中部吉利斯德股份有限公司;斋藤秀俊  【地址】  日本大阪府
 【共同申请人】  
 【发明人】  斋藤秀俊;大盐茂夫;佐藤良;南部信义;中村淳;古川正法
 【国际申请】  PCT.JP99/02053 1999-04-16  【国际公布】  WO99.55619 日 1999-11-04
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  中科专利商标代理有限责任公司  【代理人】  汪惠民
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  JP
 【摘要】  一种金属氧化物的制法是将原料金属与有机螯合剂按规定的金属组成混合并调制澄清透明的有机金属螯合络合物水溶液后,将通过喷雾干燥该水溶液所得到的含无定形的有机金属螯合络合物的粉末焙烧,得到金属氧化物,或用将含上述络合物的粉末成型片状的靶子材料形成金属氧化物薄膜。按上述制法,能提供组成控制性好且粒子形状控制容易的金属氧化物,同时,用激光沉积法能得到可高效制造适宜组成的金属氧化物薄膜的靶子材料。
 【主权项】  1.一种金属氧化物的制法,其特征在于作为原料使用含有无定形 的有机金属螯合络合物的粉末。
 【页数】  32
 【主分类号】  C01B13/18
 【专利分类号】  C01B13/18;C23C14/34;C01G3/00;C01F17/00;C01G23/00;C30B29/22;C07C229/76
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