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使用虚拟元件来抛光集成电路器件的方法  
 【申请号】  CN02809264.3  【申请日】  2002-05-02
 【公开号】  CN1505833  【公开日】  2004-06-16
 【申请人】  摩托罗拉公司  【地址】  美国伊利诺斯州
 【共同申请人】  
 【发明人】  爱德华·O·特拉维斯;赛扎尔·N·柴达;;田锐骐
 【国际申请】  PCT/US2002/013884 2002-05-02  【国际公布】  WO2002/099865 英 2002-12-12
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  中原信达知识产权代理有限责任公司  【代理人】  谢丽娜;张天舒
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  US
 【摘要】  本发明公开了一种形成带有虚拟元件(14)及其结构的集成电路器件的方法。一种实施例包括第一有源元件(25),其通过不带有有源元件的虚拟元件可用区,与基本上较小的第二有源元件(12)隔开。虚拟元件(14)存在于虚拟元件可用区内和第二有源元件的邻近处。
 【主权项】  1.一种集成电路器件,其包括: 半导体衬底; 位于所述半导体衬底内、具有第一宽度的第一有源元件; 位于所述半导体衬底内、具有基本上小于第一有源元件的第二宽 度的第二有源元件; 位于所述半导体衬底内、把所述第一有源元件和所述第二有源元 件至少隔开20微米的第一虚拟元件可用区,其中该第一虚拟元件可 用区没有任何有源元件; 位于所述第一虚拟元件可用区内且邻近所述第二有源元件的第一 虚拟元件;以及 位于所述第一虚拟元件可用区内、把所述第一虚拟元件和所述第 一有源元件至少隔开20微米的第二虚拟元件可用区,其中该第二虚 拟元件可用区没有任何虚拟元件。
 【页数】  20
 【主分类号】  H01L21/3105
 【专利分类号】  H01L21/3105
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