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超纯水变频控制系统及超纯水供应系统  
 【申请号】  CN201620716195.4  【申请日】  2016-07-07
 【公开号】  CN206034556U  【公开日】  2017-03-22
 【申请人】  中芯国际集成电路制造(北京)有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司  【地址】  100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号
 【共同申请人】  
 【发明人】  朱江宁;宋智云;彭志辉;文恒毅
 【国际申请】    【国际公布】  
 【进入国家日期】  
 【专利代理机构】  上海光华专利事务所 31219  【代理人】  余明伟
 【分案原申请号】  
 【国省代码】  11
 【摘要】  本实用新型提供一种超纯水变频控制系统及超纯水供应系统,包括:水泵组、压力传感器、信号控制模块、上位机及变频器;其中,压力传感器位于水泵组的出口的管路上;信号控制模块与压力传感器相连接;上位机与变频器相连接;变频器与水泵组、信号控制模块及上位机相连接。本实用新型采用变频器控制所述水泵,运行的电流相较于现有技术减小到原始运行电流的2/5,大大节省了电能;采用变频器控制水泵,系统运行的安全性及稳定性大大提高;采用变频器控制水泵,当一个水泵运行出现问题时,其它水泵将会通过变换频率的方式补偿由于跳电而产生的压力波动;采用变频器控制水泵,可以实现24小时不间断监控和自动调节处理。
 【主权项】  一种超纯水变频控制系统,其特征在于,所述超纯水变频控制系统包括:水泵组、压力传感器、信号控制模块、上位机及变频器;其中,所述压力传感器位于所述水泵组的出口的管路上,适于检测所述水泵组出口处的压力;所述信号控制模块与所述压力传感器相连接,适于接收所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力、设定参考压力,并将所述压力传感器检测到的所述水泵组出口处的压力与所述参考压力进行对比换算,进而产生控制信号并输出;所述上位机与所述变频器相连接,适于控制所述变频器的开启与关闭;所述变频器与所述水泵组、所述信号控制模块及所述上位机相连接,适于依据所述信号控制模块输出的控制信号控制所述水泵组的工作频率。
 【页数】  12
 【主分类号】  E03B7/04
 【专利分类号】  E03B7/04;E03B7/07;E03B11/16
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