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用于加工过程监测与误差补偿的几种新型干涉仪  
【成果完成人】  殷纯永;郭继华;毛文炜;曾理江;徐毅;许婕;戴高良;蒋弘;晁志霞;高赛;林德教;陈强华;柳忠尧;吴健;闫聚群;宋德强;谢广平;成相印
【第一完成单位】  清华大学电机工程与应用电子技术系
【关键词】  高测速双频干涉仪;滚转角干涉仪;横向塞曼同轴度仪
【中图分类号】  TH744.3
【学科分类号】 460.40
【成果简介】
【成果类别】  应用技术
【成果水平】  
【研究起止时间】  
【评价形式】  鉴定
【成果入库时间】  2001
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