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半导体器件.微机电设备.第3部分:拉伸试验的薄膜标准试验片  
 【英文标准名称】  Semiconductor devices - Micro electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing
 【原文标准名称】  半导体器件.微机电设备.第3部分:拉伸试验的薄膜标准试验片
 【标准号】  IEC 62047-3-2006
 【标准状态】  N
 【国别】  国际
 【发布日期】  2006-08
 【实施或试行日期】  
 【发布单位】  国际电工委员会(IX-IEC)
 【起草单位】  IEC/TC 47
 【标准类型】  ()
 【标准水平】  ()
 【中文主题词】  组件;材料;微电子学;微系统技术;精密度;特性;试样;半导体器件;规范(验收);标准方法;符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验装置;试验体系;薄膜器件;薄膜技术
 【英文主题词】  Components;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Precision;Properties;Samples;Semiconductor devices;Specification (approval);Standard methods;Symbols;System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology
 【摘要】  This International Standard specifies a standard test piece, which is used to guarantee thepropriety and accuracy of a tensile testing system for thin film materials with length and widthunder 1 mm and thickness under 10 μm, which are main structural materials for microelectromechanicalsystems (MEMS), micromachines and similar devices.This International Standard is based on such a concept that a tensile testing system can beguaranteed in propriety and accuracy, when the measured tensile strengths of the standardtest pieces, whose tensile strength is pre-determined, are within the designated range. It alsospecifies the test pieces to minimize characteristics deviation among the pieces.
 【中国标准分类号】  L94
 【国际标准分类号】  31_080_01;31_080_99;31_220_01
 【页数】  15P;A4
 【正文语种】  英语
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