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半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义  
 【英文标准名称】  Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 1 : terms and definitions.
 【原文标准名称】  半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义
 【标准号】  NF C96-050-1-2006
 【标准状态】  ST
 【国别】  法国
 【发布日期】  2006-09-01
 【实施或试行日期】  2006-09-20
 【发布单位】  (FR-AFNOR)
 【起草单位】  
 【标准类型】  ()
 【标准水平】  ()
 【中文主题词】  自动化;总线系统;传播技术;元部件;数据总线;定义;电气工程;信息处理;信息技术;管理;微电子学;微型系统技术;微处理技术;半导体器件;系统过程;术语
 【英文主题词】  Automation;Bus systems;Communication technology;Components;Data bus;Definition;Definitions;Electrical engineering;Information processing;Information technology;Management;Microelectronics;Microsystem techniques;Microtechnique;Semiconductor devices;System engineering;Terminology;Lubrication
 【摘要】  
 【中国标准分类号】  L94
 【国际标准分类号】  01_040_31;31_080_01;31_220_01
 【页数】  26P.;A4
 【正文语种】  其他
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