用户名: 密码:    忘记密码   注册   在线充值
半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法  
 【英文标准名称】  Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006); German version EN 62047-2:2006
 【原文标准名称】  半导体装置.微型电机装置.第2部分:薄膜材料的拉伸试验方法
 【标准号】  DIN EN 62047-2-2007
 【标准状态】  N
 【国别】  德国
 【发布日期】  2007-02
 【实施或试行日期】  2007-02-01
 【发布单位】  德国标准化学会(DIN)
 【起草单位】  
 【标准类型】  ()
 【标准水平】  ()
 【中文主题词】  组件;材料;微电子学;微系统技术;特性;试样;半导体器件;规范(验收);符号;系统工程;拉伸应变;抗拉试验;试验;试验条件;试验装置;薄膜;薄膜技术
 【英文主题词】  
 【摘要】  This International Standard specifies the method for tensile testing of thin film materials with length and width under 1 mm and thickness under 10 ? which are main structural materials for micro-electromechanical systems (MEMS), micromachines and similar devices.#,,#
 【中国标准分类号】  L40;L94
 【国际标准分类号】  31_080_01;31_220_01
 【页数】  14P.;A4
 【正文语种】  德语
索取全文
标准全文由山东省标准化研究院向您提供(不能使用知网账号下载全文),需向山东省标准化研究院支付相关费用后,方可获得标准。

 

       

标准间关联  
本领域专利与科技成果  
本标准研制背景
本标准应用动态
所涉核心技术研究动态
京ICP证040431号 互联网出版许可证 新出网证(京)字008号 京公网安备11010802014875号
© 2014中国知网(CNKI) 《中国学术期刊(光盘版)》电子杂志社有限公司
服务热线:400-810-9888 订卡热线:800-810-6613
在线咨询:http://help.cnki.net 客服中心:http://service.cnki.net 电子邮件:help@cnki.net