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半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法  
 【英文标准名称】  Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials
 【原文标准名称】  半导体装置.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳试验方法
 【标准号】  IEC 62047-6-2009
 【标准状态】  N
 【国别】  国际
 【发布日期】  2009-04
 【实施或试行日期】  
 【发布单位】  国际电工委员会(IX-IEC)
 【起草单位】  IEC/SC 47F
 【标准类型】  ()
 【标准水平】  ()
 【中文主题词】  定义;电气工程;疲劳;疲劳限制;材料;微电子学;微小系统技术;试样;半导体器件;规范(验收);系统工程;拉伸应变;拉伸测试;试验;试验装置;试验体系;薄膜;薄膜器件;薄膜技术
 【英文主题词】  Base materials;Definitions;Dimensions;Electrical engineering;Fatigue;Fatigue limit;Materials;Microelectronics;Microsystem techniques;Room air temperature;Samples;Semiconductor devices;Specification (approval);System engineering;Tensile strain;Tensile testing;Testing;Testing devices;Testing system;Thin films;Thin-film devices;Thin-film technology
 【摘要】  
 【中国标准分类号】  L94;L47
 【国际标准分类号】  31_080_01;31_080_99;31_220_01
 【页数】  30P;A4
 【正文语种】  英语
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