申 请 号:CN200710154389.5

法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2008-04-02公开公开
2008-05-28实质审查的生效实质审查的生效
2012-05-09授权授权
2018-09-14专利权的终止未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G03F 7/00 申请日:20070926 授权公告日:20120509 终止日期:20170926
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