申 请 号:CN201010165708.4

法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2010-10-20公开公开
2012-05-30实质审查的生效实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 29/78 申请日:20100414
2015-04-29授权授权
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