申 请 号:CN201210114763.X

法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2012-10-31公开公开
2014-04-16实质审查的生效实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/77 申请日:20120418
2016-08-03授权授权
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