申 请 号:CN201410090230.1

法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2015-09-16公开公开
2015-10-14实质审查的生效实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20140312
2017-10-03著录事项变更著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/768 变更事项:申请人 变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 变更后:北京北方华创微电子装备有限公司 变更事项:地址 变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更后:100176 北京经济技术开发区
2019-01-18授权授权
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